Tuotteen ominaisuudet
Tukee useita versioita (PLC/PC) ja erilaisia valtavirran viestintäprotokollia;
Suunnittelu ja tuotanto suoritettu SEMI-turvallisuustuotantostandardin mukaisesti;
Suuri kanavan suunnittelukapasiteetti, UPH400 ~ 550 kpl;
Sopii useille tuotemitoille ja aikakauslehdille;
MFC-kiekkotason patentoitu rakenne, joka estää kaasuvuodon aiheuttamasta turvallisuusonnettomuuksia (tukee korkean -riskin kaasuja, kuten vetyä);
Patentoitu korkeatiivistyskammio, jopa 5pa;
Veden kosketuskulma<10° (related to the material of product surface);
Neljän kanavan suunnittelu neljän tuotteen samanaikaista käsittelyä varten, kaksipohjaisilla elektrodeilla, mikä lyhentää levyn sisään- ja ulostuloaikaa, parantaa merkittävästi tehokkuutta ja varmistaa tuotteen yhdenmukaisuuden käsittelyssä.
tekniset tiedot
|
Toiminnallinen kokoonpano |
Tekniset parametrit |
|
|
P × L × K (mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Laitteet |
Nettopaino (kg) |
1000 |
|
Kehävälys (mm) |
600 takana, 600 molemmilla puolilla |
|
|
kammio |
Tilavuus (L) |
Noin 9 |
|
Kanava (nro) |
4 |
|
|
Alaelektrodi (kpl.) |
2 (siirtymäfunktio) |
|
|
Ruokintatila |
Aikakauslehti |
|
|
Mukautuva tuotteen koko (mm) |
Leveys: 40-100 Pituus: 150-300 |
|
|
Elektrodi |
Elektrodin mitat (mm) |
528×300 |
|
RF-virtalähde |
Vakioteho (kW) |
1 |
|
Taajuus (MHZ) |
13.56 |
|
|
Kaasun ohjaus |
Jopa kolme kanavaa |
2 kanavaa (vakio), 3 kanavaa (valinnainen) |
|
Ohjausjärjestelmä |
Ihmisen-konekäyttöliittymä |
PC+kosketusnäyttö |
|
Etäkäyttöliittymä |
Viestintä |
Valinnainen |
|
Tyhjiöpumppu |
Valinnainen kuivapumppu |
17CFM |
|
Valinnainen öljypumppu |
195CFM |
|
|
Valinnainen kuivapumppu huuhtelutoiminnolla |
KYLLÄ |
|
|
Typen tyhjennysvirtausnopeus (SLM) |
2 |
|
|
Imurointiaika (S) |
10月15日 |
|
|
Tyhjiön murtumisaika (S) |
3-4 |
|
|
Tehdastilat |
Virtalähde |
Kolmi-vaiheinen 380V50/60Hz 4,5kW (öljypumppu) |
|
Prosessin koko ja tyyppi |
1/4 tuuman Swagelok |
|
|
Prosessikaasun puhtaus |
Teollisuusluokka ja sitä korkeammat |
|
|
Prosessikaasun paine (psig) |
10-20 |
|
|
Puhdistuskaasuputken koko ja tyyppi |
1/4 tuuman Swagelok |
|
|
Puhdistuskaasun puhtaus |
Teollisuusluokka ja sitä korkeammat |
|
|
Puhdistuskaasun paine (psig) |
15 |
|
|
Pneumaattisen mitat ja tyyppi |
10 mm:n työntö-kiinnitys |
|
|
Pneumaattisen kaasun puhtaus |
Paineilma, öljytön-, kastepiste Alle tai yhtä suuri kuin 7 astetta, hiukkasia<5 |
|
|
Pneumaattisen kaasun paine (psig) |
70-90 |
|
|
Paineilma (mm) |
∅8 |
|
|
Vaatimustenmukaisuus |
Sertifiointi |
SEMI |
|
Apulaitteet |
Typen generaattori (valinnainen) |
Valinnainen typen puhdistamiseen |
|
Vesijäähdytin (valinnainen) |
Valinnainen elektrodien jäähdytykseen |
|
|
Vetysarja (valinnainen) |
Valinnainen vetykäsittelyyn |
|
|
Pakokaasuprosessori (valinnainen) |
Valinnainen fluoripakokaasujen käsittelyyn |
|
|
Kuljetus |
Kokonaispaino (kg) |
1050 |
|
Pakettien lukumäärä |
1 |
|
|
SPM15-standardin mukainen pakkaus |
KYLLÄ |
|
Suositut Tagit: VP-10S automaattinen tyhjiöplasmakäsittelyjärjestelmä, VP-10S automaattinen tyhjiöplasmakäsittelyjärjestelmä